高压电子枪发射的电子束流的密度很大，如果电子束落点控制不当，电子束流不能偏转到金属锭上，可能将镀膜室壁等处加热烧熔，所以按照电子枪的操作程序进行操作很重要。

1)一般电子枪的枪电压是确定的，所以首先开启磁场电源，调到预定的磁场电流。设定磁场强度 H，即确定电子束轨迹，保证电子束的偏转半径按预定的轨迹运行，使电子束斑能落到甘塌内的金属锭上。

2)开启枪的高压电源，枪电压为设定值。

3)开启钨丝加热电源，缓慢加热钨丝。

4)逐渐增大钨丝的加热电流，在坩埚内的金属锭表面可看到电子束束斑。

5)增大灯丝电流预熔金属锭，加大电子束电流将金属锭预熔，可以看到金属液的滚动。如果束斑不在金属锭的中心，可以调磁场电流，稍微改变电子束的偏转半径，使电子束斑点正好落在金属锭中央。

6)继续增大灯丝电流，加大电子束功率充分预熔金属锭，然后打开塌上方的挡板，蒸发的膜料飞向工件形成膜层。

    在e形电子枪的操作中，如果不预先给出磁场电流，电子束不会产生偏转，有可能直接射向其他地方而烧毁某些部件。预定磁场电流的目的是使电子束一出来就按照预定轨道产生偏转。

    为了扩大电子束斑的作用范围，电子枪电源还配有 X一Y扫描系统，使电子束在金属锭表面扫描，扩大金属熔化区域的蒸发面积，使蒸发金属量增多，从而提高沉积速率。

    产业化过程中，必须固定枪电压、磁场电流、钨丝加热电流及扫描条件，还要保证一定的冷却水温度与流量、金属锭的散热量，以确保金属的蒸发量的稳定；否则难以保证膜层质量的重复性，尤其在反应沉积化合物薄膜时，金属的蒸发量一定了，才能保证化合物薄膜的成分符合化学计量比。