随着市场对改善硬质涂层的耐磨、润滑、抗腐蚀等性能的需求急剧增长，阴极电弧磁过滤离子镀设备成为亮点。设备采用最常用、最有效的90度弯管圆截面磁过滤装置，能高效地去除大颗粒，从而把阴极电弧离子镀技术的优越性发挥到极致。在制备DLC超硬涂层领域，尤其是在制备具有高硬度、低摩擦系数、导热、绝缘、吸收紫外线、抗辐射损伤、耐腐蚀等诸多优良的物理化学特性的Ta-C涂层领域，优势尤为显著，Ta-C涂层平均硬度最高可达约63GPa。

设备可沉积Ta-C/AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等碳的杂化态类金刚石涂层；适用于微钻、铣刀、丝锥、杆状类刀具、汽车零部件、医疗器械等领域。

Ta-C涂层测试数据：

激光Raman光谱检测结果，高速钢表面有Cr过渡层的拉曼光谱：

样品20210122 Raman检测结果的高斯拟合（ID/IG=0.224, sp3的含量足够高)：

纳米压痕仪硬度检测检测结果，样品20210122的平均硬度为62.7GPa：